壓力變送器作為精密測(cè)量利器，已經(jīng)被廣泛運(yùn)用于各行業(yè)，特別是工業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。市場(chǎng)上美、德、日等國(guó)占據(jù)主導(dǎo)地位，對(duì)我國(guó)發(fā)展構(gòu)成潛在制約。因此，研發(fā)并生產(chǎn)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高穩(wěn)定性和高精度壓力變送器至關(guān)重要。

1、壓力變送器概述
傳感器輸出信號(hào)多樣化，需借助電路轉(zhuǎn)成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。壓力變送器即在此基礎(chǔ)上，將液體壓力信號(hào)轉(zhuǎn)為標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，其中絕壓變送器、表壓變送器和差壓變送器是常見(jiàn)類型。絕壓變送器適用于大氣壓影響較小的環(huán)境，如真空精餾塔；表壓變送器以大氣壓代替絕對(duì)真空，適用范圍更廣；差壓變送器則用于測(cè)量壓力差。

1.1 壓力變送器主體結(jié)構(gòu)
目前主流壓力變送器主要由傳感器、測(cè)量膜盒和接口與處理電路三部分組成。壓力傳感器與測(cè)溫傳感器共同封裝于測(cè)量膜盒頂部，由兩片密封法蘭夾持形成測(cè)量部分，將現(xiàn)場(chǎng)壓力信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào)。電子線路板、液晶顯示屏、接線端子構(gòu)成接口與處理電路，負(fù)責(zé)放大傳感器輸出信號(hào)、模數(shù)轉(zhuǎn)換、實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)以及輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

1.2 壓力變送器分類
按測(cè)量原理可分為電容式壓力變送器、諧振式壓力變送器以及單晶硅壓力變送器等。
①電容式壓力變送器
其工作原理為流體壓差通過(guò)介質(zhì)傳遞至內(nèi)部金屬電容極板，引發(fā)極板變形，從而改變電容量，經(jīng)電路處理后得到壓力信號(hào)。例如，美國(guó)艾默生公司的羅斯蒙特1151系列產(chǎn)品，經(jīng)過(guò)國(guó)內(nèi)儀表制造商的研究和探索，準(zhǔn)確度等級(jí)已從0.5級(jí)提升至0.1級(jí)。

②諧振式壓力變送器
其原理為擴(kuò)散硅薄膜在壓差作用下產(chǎn)生形變，導(dǎo)致內(nèi)部諧振梁頻率變化；流體壓差傳遞至內(nèi)部單晶硅諧振梁，產(chǎn)生相應(yīng)頻率信號(hào)；經(jīng)電路處理后得到壓力信號(hào)。

③單晶硅壓力變送器
其主體結(jié)構(gòu)為惠斯通電橋，外部壓差通過(guò)介質(zhì)傳遞至內(nèi)部電橋，因壓阻效應(yīng)，電橋產(chǎn)生隨壓力變化的阻值，通過(guò)電路檢測(cè)電橋輸出即可獲得壓力信號(hào)。單晶硅壓力變送器具有輸出靈敏度高、信號(hào)量大、回差極小及電路設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔可靠等優(yōu)勢(shì)。